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          半導體有機廢氣怎么處理?半導體廢氣治理有哪些好辦法?

          環保領域專家
          • 格林斯達環保
          • 擅長:半導體廢氣處理工藝技術,專注環保領域13年

          半導體行業中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量有機物成分,在工藝過程中,這些有機溶劑大部分通過揮發成為廢氣排放。其廢氣的主體是VOCs,同時廢氣中還混合了HCl、氨、HF等危險污染物。半導體有機廢氣怎么處理?半導體廢氣治理有哪些好辦法?下面為您做簡單介紹:

          半導體有機廢氣處理辦法

          采用RTO設備處理

          RTO蓄熱式氧化爐是在高溫下將可燃廢氣氧化成氧化物和水,凈化廢氣,并回收廢氣分解時所釋放出來的熱量,廢氣分解效率達到99%以上,熱回收效率達到95%以上。

          采用RTO設備處理

          (格林斯達環保RTO設備)

          直接燃燒法處理

          有機廢氣風管廢氣收集→沸石轉輪吸附濃縮→直燃爐(TO)→煙囪排氣達標排放。

           

          以上就是《半導體有機廢氣怎么處理?半導體廢氣治理有哪些好辦法?》的全部內容,格林斯達環保專注半導體廢氣處理13年,zhi今服務于中芯國際、中芯北方、中芯南方、中芯紹興、集電控股、積塔、有研、華虹、燕東微電子等半導體企業,中芯系覆蓋70%以上,擁有眾多半導體廢氣治理案例!如您有半導體廢氣處理需求,即刻聯系我們吧!

          格林斯達環保專注于企業廢氣處理,致力于提供系統化工藝排氣系統集成方案和自主研發的核心環保設備。有需要請聯系:400-9655-098 / 138-1114-8535(同微信)。


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