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廢氣處理設備
噴淋洗滌塔
沸石轉輪+催化燃燒RCO
沸石轉輪+蓄熱高溫氧化RTO
沸石轉輪+高溫氧化TO
砷磷烷吸附塔
LOCAL SCRUBBER尾氣…
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酸堿廢氣處理設備（洗滌塔）
有機廢氣處理設備
焚燒爐
吸附塔
風管
尾氣處理設備
臥式洗滌塔
該設備在結構上采用橫臥式設計，酸性或堿性氣體由設備側方進入填料層，藥劑由設備
Local Scrubber尾氣處理設備
等離子水洗Local Scrubber設備：去除半導體Dry Etch、ThinFilm、Diffusion等晶圓工藝
工藝風管
涂層風管 涂層風管主要適用于泛半導體行業，包括半導體集成電路、液晶面板、大硅片
廢氣焚燒爐
（一）直燃爐TO爐 工作原理介紹 直燃爐是將含有VOCs成分的氣體在高溫下氧化分解，合
砷磷烷吸附塔
工作原理介紹利用化學反應、復分解反應等基本原理，與各種廢氣產生化學反應，生成
玻璃鋼洗滌塔
玻璃鋼洗滌塔，因其塔體為玻璃鋼復合材料制作而成，再加上其工作原理對酸堿廢氣進
立式洗滌塔
立式洗滌塔一般運用于廠地面積有限但高度無限制的場所，使用材質一般為：FRP或PP。
臥式洗滌塔
該設備在結構上采用橫臥式設計，酸性或堿性氣體由設備側方進入填料層，藥劑由設備
PP洗滌塔
PP洗滌塔，又名：噴淋塔，水洗塔，酸霧塔，主要材質為優質pp塑料板材。塔體包含有本
沸石轉輪+蓄熱式高溫氧化
沸石轉輪+蓄熱式高溫氧化爐（RTO）有機廢氣處理設備，主要用于噴漆涂裝行業VOCs廢氣
沸石轉輪+催化燃燒RCO
大風量低濃度的VOCs，經過沸石轉輪后，由于分子之間的范德華力，VOCs被沸石微孔所吸
沸石轉輪+高溫氧化爐TO
沸石轉輪+高溫氧化爐（TO）有機廢氣處理設備，主要用于半導體/集成電路制造、化工、
廢氣焚燒爐
（一）直燃爐TO爐 工作原理介紹 直燃爐是將含有VOCs成分的氣體在高溫下氧化分解，合
砷磷烷吸附塔
工作原理介紹利用化學反應、復分解反應等基本原理，與各種廢氣產生化學反應，生成
工藝風管
涂層風管 涂層風管主要適用于泛半導體行業，包括半導體集成電路、液晶面板、大硅片
Local Scrubber尾氣處理設備
等離子水洗Local Scrubber設備：去除半導體Dry Etch、ThinFilm、Diffusion等晶圓工藝
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